快速退火炉的主要功能和特点有哪些 快速退火炉的应用领域介绍

一、快速退火炉的主要功能和特点有哪些

快速退火炉是用于快速热处理、热氧化处理、高温退火的设备，采用先进的微电脑控制系统，采用PID闭环控制温度，可以达到极高的控温精度和温度均匀性，并且可配置真空腔体，也可根据用户工艺需求配置多路气体。

主要功能和特点：

1、可视化7寸触摸屏，设定数据和操作都是图文界面，操作方便。

2、炉体配备高精度移动平台，运行平稳无抖动。

3、炉管可自由移动，且密封法兰之间用搭扣压紧连接，放、取物料方便快捷，避免了螺栓密封人为操作导致漏气的可能、减少了因安装法兰而造成加热管损坏的可能、当炉管移出炉膛时冷确风扇启动，可实现试样的迅速降温，满足材料骤冷骤热的实验要求。

4、炉膛采用进口多晶纤维真空吸附制成，采用进口红外线加热管加热，使用寿命可达5000小时，升温速度快，最高温度可达1050℃。

5、预留了真空、气路快速接口，可配合我司真空系统、混气系统使用。

6、预留了485转换接口，可通过我司专用软件，与计算机互联，可实现单台或者多台电炉的远程控制、实时追踪、历史记录、输出报表等功能。

7、设置超温报警并断电，漏电保护，操作安全可靠。

二、快速退火炉的应用领域介绍

了解了快速退火炉的功能和特点后，再来看看快速退火炉的应用领域介绍吧！

1、快速热处理（RTP），快速退火（RTA），快速热氧化（RTO），快速热氮化（RTN）。

2、离子注入/接触退火。

3、金属合金。

4、热氧化处理。

5、化合物合金（砷化镓、氮化物等）。

6、多晶硅退火。

7、太阳能电池片退火。

8、高温退火。

9、高温扩散。

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